Моделирование технологических процессов и интегральных микросхем

Авторы: Плотникова Е.Ю., Арсентьев А.В., Винокуров А.А.

Издательство: Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ

В лабораторном практикуме представлены задачи по методам математического моделирования технологических процессов микро- и наноэлектронного производства в системе автоматизированного проектирования TCAD. Приведены справочные материалы по методам моделирования технологических операций и задания для лабораторных работ. Материал иллюстрируется примерами. Издание предназначено для студентов направлений 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль «Микроэлектроника и твердотельная электроника») и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (программа «Интегральные системы и устройства в микро- и наноэлектронике»), изучающих дисциплины «Математическое моделирование технологических процессов и интегральных схем», «Моделирование физических процессов в микро- и наноэлектронике».