Технические средства получения и измерения давления вакуумной технологической среды

Авторы: Базиненков А.М., Каменихин А.Т.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Представлены материалы для практического изучения важнейших элементов вакуумного оборудования — средств откачки, измерения давления, а также процедуры измерения быстроты откачки технологического объема. Для студентов, обучающихся по специальностям «Электроника и наноэлектроника», «Наноинженерия» в МГТУ им. Н.Э. Баумана.