Методы исследования структуры твердых тел

Авторы: Ожерельев В.В., Костюченко А.В., Канныкин С.В., Донцов А.И.

Издательство: Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ

В учебном пособии рассмотрены методы исследования структуры твердых тел: рентгеновская дифрактометрия, электронография, атомно-силовая микроскопия, оже-электронная спектроскопия. Приводится описание физических основ методов, используемого оборудования и методик анализа данных. Издание предназначено для студентов направлений 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» и 16.03.01 «Техническая физика» для изучения дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем» и «Структурные методы исследований».