Методы зондовой микроскопии

Авторы: Рыбин Н.Б., Рыбина Н.В., Литвинов В.Г., Ермачихин А.В.

Издательство: Рязанский государственный радиотехнический университет

Приведены краткие сведения о методах зондовой микроскопии. Рассмотрены следующие классы приборов: сканирующая зондовая микроскопия, растровая электронная микроскопия, сканирующая ионная микроскопия. Предназначено для аудиторной и самостоятельной работы студентов, изучающих дисциплины «Основы зондовой микроскопии», «Методы исследования наноматериалов, микро- и наносистем», «Физика наносистем».