Основы микро- и наносенсорики

Авторы: Сысоев В.В.

Издательство: Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ

Рассмотрены физико-химические принципы работы, устройство и применение различных типов сенсоров. Основное внимание уделено построению микросенсоров в рамках современных микроэлектронных и нанотехнологий. Представлены общие концепции получения сенсорных сигналов и их виды в рамках электрических измерений. Классификация сенсоров проведена согласно видам измеряемых физических и химических величин. Книга может быть полезна студентам и аспирантам, инженерно-техническим и научным работникам, преподавателям, специализирующимся в области технической физики и электроники.