Проведение научных экспериментов в наноинженерии

Авторы: Адамова А.А., Башков В.М., Власов А.И., Жуков А.А., Козлов Д.В., Кульгашов Е.В., Миронов Ю.М., Резчикова Е.В., Соловьев В.А., Шахнов В.А., Школьников В.М.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Учебное пособие содержит материалы о методах формирования и исследования микро- и наноструктур. Основное внимание уделено лабораторному практикуму по наукоемким технологиям микро- и наноэлектроники. Для студентов, обучающихся по направлениям «Конструирование и технология электронных средств» (211000), «Наноинженерия» (152200), «Радиотехника» (210400).