Физико-химические свойства полупроводниковых материалов
Авторы: Ермолаева В.И., Двуличанская Н.Н., Горшкова В.М.
Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана
Описаны физико-химические свойства элементарных полупроводников (кремний, германий) и полупроводниковых соединений типа АIIIВV и АIIВVI, механизм возникновения собственной и приместной проводимости, методы получения и очистки полупроводниковых материалов, химические реакции, протекающие при их взаимодействии с различными веществами, в том числе при травлении. Для студентов приборостроительных специальностей технических университетов, изучающих базовый курс химии, также может быть полезно студентам старших курсов.