Основы конструирования вакуумных плазменных установок

Авторы: Марахтанов М.К., Духопельников Д.В., Воробьев Е.В.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Рассмотрены основные понятия вакуумной техники, а также характеристики вакуумных насосов, необходимые для проектирования и расчета вакуумных плазменных установок. Даны примеры определения параметров потоков газа и плазмы в вакууме. Приведены характеристики ряда промышленных и лабораторных установок, предназначенных для ионно-плазменной обработки изделий. Для студентов старших курсов технических университетов и инженеров, занимающихся разработкой и конструированием вакуумно-плазменных систем.