Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей

Авторы: Кручинин Д.Ю., Фарафонтова Е.П.

Издательство: Профобразование, Уральский федеральный университет

В учебном пособии изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал, рассматриваются оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Учебное пособие предназначено для изучения дисциплин «Оборудование и технология обработки оптических деталей», «Технология изготовления оптических деталей» по укрупненной группе специальностей и профессий среднего профессионального образования «Фотоника, приборостроение, оптические и биотехнические системы и технологии».