Технология материалов электронной техники

Авторы: Сигловая Н.В., Каргин Н.И., Гусев А.С., Рындя С.М., Рыжук Р.В.

Издательство: Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ»

Подготовлено в соответствии с требованиями государственных образовательных стандартов по дисциплине «Технология материалов электронной техники». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника», а также изучающих микроэлектронику, физическую химию материалов и процессы электронной техники.