Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме

Авторы: Юшков Ю.Г., Климов А.С.

Издательство: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Рассмотрено оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий, диагностическое и вспомогательное оборудование для реализации процессов взаимодействия ускоренного электронного пучка с поверхностью диэлектрических мишеней, физические принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования. Для аспирантов, а также студентов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники и ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Может быть полезно для специалистов и инженеров, чья работа связана с вопросами взаимодействия плазмы, электронных и ионных пучков с поверхностью, методами обработки материалов потоками заряженных частиц в различных областях науки и техники.