Интегральные устройства радиоэлектроники. Ч.1. Основные структуры полупроводниковых интегральных схем

Авторы: Романовский М.Н.

Издательство: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Рассмотрены материалы, технология изготовления, модели основных структур полупроводниковых интегральных схем.