Эпитаксия микро- и наноструктур

Авторы: Илюшин В.А.

Издательство: Новосибирский государственный технический университет

В учебном пособии рассматриваются физические основы эпитаксии, в частности эффекты, возникающие при несоответствии кристаллических решеток эпитаксиального слоя и подложки; дефектообразование; способы снижения плотности пронизывающих дислокаций; получение нанообъектов разной размерности.