Процессы микро- и нанотехнологии. Нанесение тонких пленок вакуум-термическим испарением на установке ВУП-5

Авторы: Сергиенко А.А., Курочка А.С., Подгорная С.В.

Издательство: Издательский Дом МИСиС

В учебном пособии рассматриваются основные стадии и особенности процессов нанесения тонких пленок в вакууме, изучаются физические механизмы этих процессов, подробно описывается технологическое вакуумное оборудование. Основное внимание уделяется изучению конструкции установки ВУП-5, ее основных узлов и порядку работы на ней. Учебное пособие предназначено для студентов и магистров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнологии и микросистемная техника».