Технология материалов тонкопленочной микроэлектроники

Авторы: Сергиенко А.А., Курочка А.С., Подгорная С.В.

Издательство: Издательский Дом МИСиС

В практикум включены лабораторные работы по технологии получения тонких пленок металлических, полупроводниковых, диэлектрических и магнитных материалов, используемых в полупроводниковой тонкопленочной технологии микроэлектроники. Основное внимание уделяется вакуумным способам получения и обработки пленок, включая ионно-плазменные процессы. Пособие предназначено для освоения материала при проведении лабораторных работ по курсам «Технология тонких пленок полупроводников и диэлектриков», «Основы технологии электронной компонентной базы» и может быть полезно обучающимся по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнологии и микросистемная техника».