Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Авторы: Потловский К.Г., Скороходов Е.А., Козубняк С.А.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».