Нанотехнологии и микромеханика. Часть 4. Зондовые нанотехнологии

Авторы: Иванов Ю.А., Башков В.М., Шашурин В.Д., Федоркова Н.В.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Описаны физические явления, используемые в работе сканирующего туннельного микроскопа и атомного силового микроскопа. Рассмотрены физико-химические законы наиболее разработанных зондовых нанотехнологий. Для студентов и аспирантов специальностей «Технологии приборостроения», «Технологии электронных средств», «Нанотехнологии».