Технология микросистемной техники. Часть 1. Методы микрообработки

Авторы: Нарайкин О.С., Холевин В.В., Данилов И.И., Шалаев В.А.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Рассмотрены современные методы микрообработки, применяемые в технологии изготовления микросистем: объемная микрообработка, поверхностная микрообработка, технология LIGA. Приведены сведения о материалах, применяемых в микросистемной технике, и о методах соединения слоев микросистем. Для студентов 5–6-го курсов приборостроительных специальностей.