Формирование гетероструктур наноприборов методом молекулярно-лучевой эпитаксии

Авторы: Шашурин В.Д., Малышев К.В., Мешков С.А., Скороходов Е.А., Нарайкин О.С.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Настоящее издание соответствует учебной программе курса «Специальные технологические методы в нанотехнологии». Рассматриваются методы выращивания 2D-наноструктур (нанослоев), 1D-наноструктур (нанонитей) и 0D-наноструктур (наночастиц) с помощью молекулярно-лучевой эпитаксии для их применения в наноприборах радиоэлектронных систем. Для студентов 6-го курса приборостроительных специальностей.