Лазерные технологии в электронном машиностроении

Авторы: Малов И.Е., Шиганов И.Н.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Дано общее представление о процессах лазерной обработки полупроводников с целью рекристаллизации и отжига, описаны лазерные технологии модифицирования и изменения химического состава поверхностных слоев, напыления и осаждения тонких пленок, процессы лазерного легирования поверхности полупроводников. Также в пособии рассмотрены физико-химические и технологические процессы лазерной обработки пленок и деталей микроэлектроники, дана классификация методов лазерной обработки, рассмотрены методы подгонки параметров элементов микроэлектроники, размерной обработки и маркировки тонких пленок. Для студентов 6-го курса, изучающих дисциплину «Лазерная микротехнология».