Лазеры в микроэлектронике

Авторы: Малов И.Е., Шиганов И.Н.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Учебное пособие состоит из четырех разделов, посвященных лазерной обработке материалов, используемых в микроэлектронике. Рассмотрены такие часто используемые процессы, как обработка полупроводников и отжиг имплантированных слоев в полупроводниках, перекристаллизация и стабилизация параметров тонких слоев в полупроводниках, модифицирование и изменение химического состава поверхностных слоев путем лазерного напыления тонких пленок, осаждение пленок из газовой фазы и растворов. Большое внимание уделено вопросам обработки тонких пленок в виде лазерной подгонки пленочных резисторов, конденсаторов; вопросам лазерной литографии, записи информации. Для студентов старших курсов, обучающихся по специальности «Машины и технология высокоэффективных процессов обработки материалов».