Физические основы микро- и нанотехнологий

Авторы: Бычков С.П., Михайлов В.П., Панфилов Ю.В., Цветков Ю.Б.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий. Для студентов 3-го и 4-го курсов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».