Вакуумный практикум

Авторы: Иванов И.Г.

Издательство: Издательство Южного федерального университета

В пособии дается описание лабораторных работ практикума по физическим основам вакуумной техники, при выполнении которого студенты знакомятся с кинетикой различных молекулярных процессов в вакууме, с основными принципами получения и измерения малых давлений, а также основными принципами вакуумной тонкопленочной технологии. Рекомендуется в качестве методического руководства для студентов 2–3 курсов физических специальностей.