Микромехатроника

Авторы: Баршутина М.Н.

Издательство: Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ

В учебном пособии широко охвачены различные аспекты микромехатроники и микросистемной техники. В книге детально рассмотрены такие вопросы, как история и перспективы развития микросистемной техники, структура и технологии изготовления микроэлектромеханических систем, а также различные сферы их применения. Книга предназначена для освоения дисциплины «Микромехатроника» студентами магистратуры, обучающимися по направлению 15.03.06 «Мехатроника и робототехника», а также может быть полезна аспирантам, инженерно-техническим и научным работникам соответствующих и близких специальностей.