Технологическое оборудование для микроэлектроники

Авторы: Камлюк В.С., Камлюк Д.В.

Издательство: Республиканский институт профессионального образования (РИПО)

Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.