Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей

Авторы: Кручинин Д.Ю., Фарафонтова Е.П.

Издательство: Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ

Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями.