Особенности электрофизических свойств ультратонких диэлектриков на неоднородной поверхности затворов энергонезависимой памяти

Авторы: Перов Г.В., Смирнова К.А., Сединин В.И.

Издательство: Сибирский государственный университет телекоммуникаций и информатики

Представлены обзорные материалы более 130 источников по конструкции, принципу действия, энергонезависимой памяти (ЗУ). Рассмотрены электрофизические процессы проводимости в ультратонких пленках окисла на неоднородной поверхности поликремния затвора ЗУ. Проанализированы статистические и дискретные модели электронной и ионной проводимости диэлектрика на неоднородной поверхности. Определены принципы и способы повышения электрической прочности термического окисла на поликремнии затвора ЗУ.