Функционально интегрированные элементы интегральных схем и микросистем

Авторы: Рындин Е.А., Лысенко И.Е., Денисенко М.А., Исаева А.С.

Издательство: Издательство Южного федерального университета

В данной монографии представлены основанные на принципах функциональной интеграции методы построения элементной базы интегральных схем и микросистем: быстродействующих логических и коммутирующих элементов ультрабольших интегральных схем, элементов интегральных систем оптической коммутации ядер в многоядерных УБИС, функционально интегрированных микромеханических гироскопов-акселерометров, элементов распределенных сенсорных систем мониторинга состояния поверхности конструкций. Работа адресована специалистам в области разработки элементной базы микросистемной техники и интегральных схем, а также студентам и аспирантам, обучающимся по соответствующим направлениям. Монография разработана при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации (проект №213.01–11/2014–12 «Разработка и исследование методов построения многоосевых функционально интегрированных микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений» в рамках базовой части государственного задания, регистрационный №01201458539).