Откачка электровакуумных приборов камерным и гнездовым способами

Авторы: Воронин В.И.

Издательство: Вузовское образование

Изложены принципы и практические рекомендации по разработке высокопроизводительных способов откачки электровакуумных приборов, приведены результаты теоретических и экспериментальных исследований процессов откачки электровакуумных приборов различных типов, а также конструкции оборудования для индивидуальной и групповой камерной откачки электровакуумных приборов. Для инженерно-технических работников, занимающихся вопросами разработки высокопроизводительных технологических процессов и оборудования для откачки электровакуумных приборов, и для студентов, обучающихся по специальности «Электронное машиностроение».