Проектирование наносенсоров. В 17 книгах. Кн.6

Авторы: Денисов А.А., Кальнов В.А., Шахнов В.А.

Издательство: Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана

Методические материалы по дисциплине «Проектирование наносенсоров» содержат нормативную базу дисциплины, рекомендации по организации и проведению лекций и лабораторных работ, перечень слайдов, типовых плакатов и другие дидактические материалы для работы профессорско-преподавательского состава по данной дисциплине. Для студентов высших технических учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия». Будет полезен всем, занимающимся вопросами нанотехнологий, наноинженерии, проектированием МЭМС и НЭМС, созданием электронных систем различного назначения.