Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий

Авторы: Рабинович О.И., Крутогин Д.Г., Подгорная С.В., Маренкин С.Ф.

Издательство: Издательский Дом МИСиС

В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий». Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в качестве бакалавров, магистров и инженеров, при выполнении лабораторных работ, подготовке магистерских диссертаций и дипломных работ.