Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассмотрены физико-химические основы получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методы очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Помимо теоретического материала издание содержит также лабораторные работы, которые включают расчет скорости осаждения пленок из парогазовой фазы в различных режимах протекания процесса и изменения состава пленок по толщине при вакуум-термическом напылении, исследование процесса эпитаксиального осаждения кремния, изучение процесса непрерывной ректификации. Учебное пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»), изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии».
Библиографическая запись
Липатов Г.И. Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения : учебное пособие / Липатов Г.И.. — Москва : Ай Пи Ар Медиа, 2021. — 84 c. — ISBN 978-5-4497-1207-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/108372.html (дата обращения: 02.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Даниярова Н.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Кашаев В.В., Жук В.Л.
(Ай Пи Ар Медиа)
Санталова М.С., Борщева А.В., Гладилина И.Л., Соклакова И.В., Сурат И.Л.
(Дашков и К)
Джингилбаев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
Джингилбаев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Профобразование)
Бердышев В.Е., Ерошенко Л.И., Новиков М.А., Ружьев В.А., Смелик В.А., Теплинский И.З.
(Проспект Науки)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Томсинов В.А.
(Зерцало-М)
Денисов Е.П., Царев А.П., Кульков В.Ф., Солодовников А.П., Летучий А.В., Денисов К.Е.
(Корпорация «Диполь»)