Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники. Учебное пособие

Об издании

Освещаются следующие разделы в области создания и исследования объектов наноэлектроники: нанолитография, оптическая литография, УФ-, КУФ-, ЭУФ- диапазоны, литография сканирующими электронными и ионными пучками, оборудование для получения остросфокусированных пучков электронов и ионов, наноимпринтинговая литография, технология наноразмерных структур и методы исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии (СЗМ), оборудование и методики применения СЗМ для технологических целей, технологии изготовления наноструктур с помощью сфокусированного ионного пучка (FIB-технология), технология наноструктурирования, самоформирующиеся 3D-наноструктуры для приборов наноэлектроники и наномеханики. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ- диапазона и дискретных полупроводниковых приборов

Библиографическая запись

Данилина Т.И. Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники : учебное пособие / Данилина Т.И., Чистоедова И.А.. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Эль Контент, 2011. — 96 c. — ISBN 978-5-91191-202-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/13950.html (дата обращения: 16.06.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей