Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Об издании
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности под ложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного электронно-лучевого и импульсного лазерного формирования структур и состава слоев, высокочастотного локального нагрева, диффузионной сварки, а также интегрированного контроля микро- и наноструктур. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.
Библиографическая запись
Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники / А.П. Достанко [и др.].. — Минск : Белорусская наука, 2016. — 252 c. — ISBN 978-985-08-1993-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/61116.html (дата обращения: 16.06.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Головицына М.В.
(Профобразование)
Гирфанова Л.Р.
(Профобразование)
Хриптулов И.В., Гнездова Ю.В., Мануйлова И.Б., Иванова Ю.В.
(Научный консультант)
Марков В.Ф., Мухамедзянов Х.Н., Маскаева Л.Н.
(Профобразование, Уральский федеральный университет)
Кашаев В.В., Жук В.Л.
(Ай Пи Ар Медиа)
Санталова М.С., Борщева А.В., Гладилина И.Л., Соклакова И.В., Сурат И.Л.
(Дашков и К)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перхуткин В.П., Перхуткина З.И., Овчарук Т.А., Недух Е.Н., Панюкова М.Л.
(Инфра-Инженерия)