Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону. Монография
Об издании
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений АIIIВV. Обсуждаются возможности получения различных микро- и наноструктур соединений АIIIВV с помощью ГЭ через газовую зону. Рассмотрено влияние различных технологических параметров (температура, температурный градиент, толщина зазора между источником и подложкой и т. д.) на свойства получаемых гетероструктур. Монография адресована магистрам, аспирантам и преподавателям, а также исследователям, работающими в области технологии полупроводниковых материалов соединений А3В5 с микро- и наноструктурой.
Библиографическая запись
Сысоев И.А. Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону : монография / Сысоев И.А., Лунин Л.С.. — Ставрополь : Северо-Кавказский федеральный университет, 2015. — 97 c. — ISBN 978-5-9296-0785-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/62929.html (дата обращения: 28.03.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Абатурова И.В., Королева И.А., Стороженко Л.А., Савинцев И.А., Писецкий В.Б., Петрова И.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Королев А.А., Мальцев Г.И., Тимофеев К.Л.
(Инфра-Инженерия)
Яресько С.И., Осколкова Т.Н., Балакиров С.Н.
(Инфра-Инженерия)
Школлер М.Б.
(Инфра-Инженерия)
Вершинина В.В.
(Аспект Пресс)
Величко А.А., Гришина И.В., Игнатов А.Н., Фадеева Н.Е., Филимонова Н.И.
(Инфра-Инженерия)
Никифоров И.К.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Томсинов В.А.
(Зерцало-М)
Денисов Е.П., Царев А.П., Кульков В.Ф., Солодовников А.П., Летучий А.В., Денисов К.Е.
(Корпорация «Диполь»)