Энтропийные модели микро- и наноструктур. Учебное пособие

Об издании

Процесс создания микро- и наноразмерных устройств рассматривается с позиции реализации комплекса мер, направленных на повышение вероятности размещения атомов определенного типа в заданных точках физического пространства. Вероятностный подход при рассмотрении технологической проблематики реализован с позиций методологии теории информации. Предложены энтропийные критерии оценки качества микро- и нанотехнологий, позволяющие сформировать требования к технологическим процессам во взаимосвязи со сложностью и выходом годных изделий. Введены в рассмотрение представления об информационном потенциале и дефиците микро- и нанотехнологий. Приведены результаты количественных оценок энтропийных показателей качества твердотельных наноустройств и технологий их создания. Учебное пособие адресовано широкому кругу специалистов, связанных по роду своей деятельности с вопросами разработки и создания микро- и наноразмерных устройств.

Библиографическая запись

Саноян, А. Г. Энтропийные модели микро- и наноструктур : учебное пособие / А. Г. Саноян, И. Н. Еремина. — Самара : РЕАВИЗ, 2010. — 80 c. — ISBN 5-94836-054-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/10149.html (дата обращения: 27.04.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей