Современное технологическое оборудование для микроэлектроники. Пособие
Об издании
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. — 267 c. — ISBN 978-985-895-032-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/125423.html (дата обращения: 30.10.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
(Ай Пи Ар Медиа)
Никитенко М.С., Трухманов Д.С., Сивушкин А.С.
(Кузбасский государственный технический университет имени Т.Ф. Горбачева)
Суханбердина Б.Б., Курманова Г.К., Салимбаева Ш.Д., Бисенгалиев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Ежова В.А.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Краковецкая И.В.
(Новосибирский государственный университет экономики и управления «НИНХ»)
Крайнова О.С.
(Вузовское образование)
Царев В.В., Кантарович А.А., Черныш В.В.
(ЮНИТИ-ДАНА)
Криворотов В.В., Калина А.В., Ерыпалов С.Е.
(ЮНИТИ-ДАНА)
Никитина Е.А., Гавриловская С.П., Хлебенских Л.В.
(Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова, ЭБС АСВ)
Мокроносов А.Г., Маврина И.Н.
(Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ)
Мазилкина Е.И., Паничкина Г.Г.
(Корпорация «Диполь», Ай Пи Эр Медиа)