Современное технологическое оборудование для микроэлектроники. Пособие
Об издании
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. — 267 c. — ISBN 978-985-895-032-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/125423.html (дата обращения: 30.10.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Никитенко М.С., Трухманов Д.С., Сивушкин А.С.
(Кузбасский государственный технический университет имени Т.Ф. Горбачева)
Суханбердина Б.Б., Курманова Г.К., Салимбаева Ш.Д., Бисенгалиев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Семёнова Т.Ю., Затевахина А.В., Круглова И.А.
(Международный банковский институт имени Анатолия Собчака)
Шишова Л.С., Авилова Н.Д.
(Российский университет транспорта (МИИТ))
(Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Махачек Л., Калоева Е.Б., Биткова Т.Г., Шаншиева Л.Н., Лыкошина Л.С., Бабенко В.Н.
(Институт научной информации по общественным наукам РАН)