Современное технологическое оборудование для микроэлектроники. Пособие
Об издании
В пособии представлены современные виды оборудования полупроводникового производства. Приведены основные характеристики технологического оборудования и требования к нему. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и аттестации оборудования. Последовательный ряд описанного оборудования соответствует примерному маршруту изготовления изделий микроэлектроники. Пособие адресовано учащимся, получающим среднее специальное образование по специальностям «Автоматизация технологических процессов и производств», «Мехатроника», «Микроэлектроника».
Библиографическая запись
Камлюк, В. С. Современное технологическое оборудование для микроэлектроники : пособие / В. С. Камлюк, Д. В. Камлюк. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2022. — 267 c. — ISBN 978-985-895-032-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/125423.html (дата обращения: 30.10.2022). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
(Ай Пи Ар Медиа)
Никитенко М.С., Трухманов Д.С., Сивушкин А.С.
(Кузбасский государственный технический университет имени Т.Ф. Горбачева)
Суханбердина Б.Б., Курманова Г.К., Салимбаева Ш.Д., Бисенгалиев С.С.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Титов С.В.
(Профобразование)
(Ай Пи Ар Медиа)
Ермина М.А., Ермин Д.А.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Бочкарева Н.А., Елизарова Н.В., Захарова Ю.Б., Коржов В.Ю., Хлистун Ю.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Лаптев А.Г., Фарахов М.И., Минеев Н.Г.
(Страта)
Галицына И.В.
(Рязанский государственный радиотехнический университет)
Каралин Э.А., Елиманова Г.Г., Ягудин Д.И., Бочков М.А., Гайфуллин А.А., Воробьев Е.С., Анисимова В.И., Суворова И.А., Харлампиди Х.Э....
(Издательство КНИТУ)