Ионная и фотонная обработка материалов. Учебное пособие
Об издании
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Библиографическая запись
Комаров, Ф. Ф. Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие / Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов. — Минск : Вышэйшая школа, 2022. — 248 c. — ISBN 978-985-06-3395-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/129933.html (дата обращения: 28.04.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Емельянова А.А., Огородникова О.А., Челнокова А.Ю., Шульгина Д.П., Ртищева Г.А., Щулепникова Е.И., Набокина М.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Титов С.В.
(Профобразование)
Корниенко В.Т.
(Ай Пи Ар Медиа)
Шошин Е.Л., Лукьянов С.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
Богун В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
.jpg)
Раевская Л.Т., Калентьев В.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Бекманн Ч., Линг Ф., Баржански Б., Бейтс У., Герберт У., Лаубе Д., Смит Р.
(Медицинская литература)
Итала Э.
(Медицинская литература)
Итала Э.
(Медицинская литература)
Итала Э.
(Медицинская литература)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: