Ионная и фотонная обработка материалов. Учебное пособие
Об издании
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Библиографическая запись
Комаров, Ф. Ф. Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие / Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов. — Минск : Вышэйшая школа, 2022. — 248 c. — ISBN 978-985-06-3395-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/129933.html (дата обращения: 28.04.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Гамов Е.С., Кукушкина В.А., Чернышова М.И., Хечиашвили И.Т.
(Липецкий государственный технический университет, Профобразование)
Богданов В.В., Бритов В.П., Лебедева Т.М., Николаев О.О., Овечко А.Н., Росинкевич С.Ф., Смирнов Б.Л., Стебловский Г.А., Стригин А.В., Туболкин А.Е., Шаховец С.Е....
(Проспект Науки)
Горбунов В.Л.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Абдуллин А.И., Ганиева Т.Ф., Идрисов М.Р., Емельянычева Е.А., Бикмухаметова Г.К., Сибгатуллина Р.И.
(Проспект Науки)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Бурляева В.А., Олешкевич Т.А., Соловьев А.М., Соловьева Н.В., Чебанов К.А., Семкина Е.Н., Булах К.В., Тартышева Н.А., Дроздова Е.С., Соловьева Н.В., Булах К.В., Шулешко Е.С., Демченко Н.Ю., Макаренко...
(Невинномысский государственный гуманитарно-технический институт)
Удалова Т.Ю.
(Издательство ОмГПУ)
Балябина Е.В., Круглов А.Ю., Оганян К.М., Рудыхина О.В., Паттурина Н.П., Игнатенко М.С., Пекун М.Е., Романов К.В., Кричевский Б.В., Бахмутский А.Е., Бражник Е.И., Лысакова И.П., Теремова Р.М., Гаврил...
(Издательство РГПУ им. А. И. Герцена)
Селиверстов Ю.И., Никитина Е.А., Смольникова А.В.
(Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова, ЭБС АСВ)
Коробова О.А., Максименко Л.А.
(Новосибирский государственный архитектурно-строительный университет (Сибстрин), ЭБС АСВ)