Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Комаров Ф.Ф. Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие / Комаров Ф.Ф., Константинов С.В.. — Минск : Вышэйшая школа, 2022. — 248 c. — ISBN 978-985-06-3395-8. — Текст : электронный // IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/129933.html (дата обращения: 06.06.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Капустинская И.Ю., Михальченко М.С.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-4497-1912-6, 978-5-93252-256-1
Издательство: Донской государственный технический университет
Автор: Ерёмин В.Д., Литвинов С.В., Притыкин А.И.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-7890-2087-6
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Машков Ю.К., Малий О.В.
Год издания: 2023
ISBN: 978-5-4497-1987-4, 978-5-8149-2439-1
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Камалова З.А.
Год издания: 2022
ISBN: 978-5-4497-1484-8
Издательство: Инфра-Инженерия
Автор: Пачурин Г.В.
Год издания: 2022
ISBN: 978-5-9729-0823-3
Издательство: Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ
Автор: Хамин О.Н.
Год издания: 2022
ISBN:
Издательство: Воронежский государственный университет инженерных технологий
Автор: Калашников Г.В., Макеев С.В.
Год издания: 2022
ISBN: 978-5-00032-595-7
Издательство: Ай Пи Ар Медиа
Автор: Резеньков Д.Н., Сапронов С.В., Горденко Д.В.
Год издания: 2022
ISBN: 978-5-4497-1751-1
Издательство: Издательство «Спорт»
Автор: Платонов В.Н.
Год издания: 2022
ISBN: 978-5-907225-93-0
Издательство: Издательство Южного федерального университета
Автор: Борисов А.Г., Анистратенко К.В., Лубашев Е.Ю., Оголь И.Н., Ященко О.В.
Год издания: 2022
ISBN: 978-5-9275-4192-8 (ч.1), 978-5-9275-4191-1
Издательство: Прометей
Автор: Шаманов В.А., Кулаков В.В., Варламов В.И.
Год издания: 2021
ISBN: 978-5-00172-103-1
Издательство: Саратовский государственный технический университет имени Ю.А. Гагарина, ЭБС АСВ
Автор: Чеховский С.А., Алёшичев В.Н., Евтехов А.С., Бушанский С.К.
Год издания: 2021
ISBN: 978-5-7433-3472-8
