Ионная и фотонная обработка материалов. Учебное пособие
Об издании
Изложены современные представления о физике взаимодействия ионных пучков с твердыми телами, рассмотрены вопросы образования и отжига дефектов кристаллической решетки, формирование заданных профилей распределения легирующих атомов. Приведены данные о современном оборудовании, используемом для ионной и фотонной обработки материалов, а также для изменения свойств ионно-имплантированных слоев. Рассмотрены приложения ионной и фотонной обработки в современных технологиях микроэлектроники и твердотельной электроники. Для студентов учреждений высшего образования, изучающих физику полупроводниковых материалов, физику твердого тела, физическую электронику, микроэлектронику, методы математической физики.
Библиографическая запись
Комаров, Ф. Ф. Ионная и фотонная обработка материалов : учебное пособие / Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов. — Минск : Вышэйшая школа, 2022. — 248 c. — ISBN 978-985-06-3395-8. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/129933.html (дата обращения: 28.04.2023). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Кузнецова Н.С., Филатова Л.П.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Гамов Е.С., Кукушкина В.А., Чернышова М.И., Хечиашвили И.Т.
(Липецкий государственный технический университет, Профобразование)
Богданов В.В., Бритов В.П., Лебедева Т.М., Николаев О.О., Овечко А.Н., Росинкевич С.Ф., Смирнов Б.Л., Стебловский Г.А., Стригин А.В., Туболкин А.Е., Шаховец С.Е....
(Проспект Науки)
Катунин Г.П., Абрамова Е.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Лукишин М.Г., Шевченко Г.Ю.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)
Ушаков В.А.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)
Цаплин П.В., Ереско С.П., Ушаков А.В.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)
Шендель Т.В.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)
Чистов Р.С.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)
Черкасова Н.Г.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)
Петрушева Н.А.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)
Романова Н.А.
(Сибирский государственный университет науки и технологий имени академика М.Ф. Решетнева)