Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Учебное пособие
Об издании
Изложены описания основных современных методов исследования и диагностического оборудования для контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем. Раскрыты возможности этих методов. Показано, каким образом совместное использование нескольких методов позволяет получить достоверную информацию о физических свойствах исследуемых структур. Для слушателей программы переподготовки в области промышленного производства наногетероструктурных монолитных интегральных схем СВЧ-диапазона и дискретных полупроводниковых приборов, а также для студентов специальностей 210104 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210600 «Нанотехнология».
Библиографическая запись
Смирнов С.В. Методы и оборудование контроля параметров технологических процессов производства наногетероструктур и наногетероструктурных монолитных интегральных схем : учебное пособие / Смирнов С.В.. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2010. — 115 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/13944.html (дата обращения: 15.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Седова Н.А., Седов В.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
Корниенко В.Т.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Устинов Ю.Ф., Жулай В.А., Жилин Р.А., Никитин С.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Пантелей Н.В., Романко В.А.
(Адукацыя і выхаванне)
Ведищев С.М., Глазков Ю.Е., Прохоров А.В., Хольшев Н.В., Брусенков А.В.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Колошеин Д.В., Борычев С.Н.
(ЗАО «Университетская книга»)
Новик А.Н., Аверченко Г.А.
(Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого)
Андреева Э.В., Абрамова В.С.
(Пермский государственный национальный исследовательский университет)
Марков В.В., Сметанников А.В., Кискеев П.И., Лебедева Л.И., Ветчинников Д.А.
(Инфра-Инженерия)