Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие для вузов
Об издании
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормам и менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».
Библиографическая запись
Зебрев, Г. И. Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие для вузов / Г. И. Зебрев. — 5-е изд. — Москва : Лаборатория знаний, 2025. — 241 c. — ISBN 978-5-93208-869-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/151966.html (дата обращения: 19.06.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Алексеев Г.В., Искаков И.Ж., Кучеренко В.Я., Кузьмина Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Братановский С.Н., Зинчук Г.М., Капитанец Ю.В., Соцков В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
На конкретных примерах рассмотрим:
На конкретных примерах рассмотрим: