Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрено оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий, диагностическое и вспомогательное оборудование для реализации процессов взаимодействия ускоренного электронного пучка с поверхностью диэлектрических мишеней, физические принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования. Для аспирантов, а также студентов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники и ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Может быть полезно для специалистов и инженеров, чья работа связана с вопросами взаимодействия плазмы, электронных и ионных пучков с поверхностью, методами обработки материалов потоками заряженных частиц в различных областях науки и техники.
Библиографическая запись
Юшков, Ю. Г. Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме : учебное пособие / Ю. Г. Юшков, А. С. Климов. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2023. — 68 c. — ISBN 978-5-6050215-3-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/152822.html (дата обращения: 29.07.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Доронина И.Н., Киреева О.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Мартынов А.П., Мартынова И.А., Русаков А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Макарова Е.А., Анисимов А.Ю., Трубин А.Е., Буланова Т.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Баженова Ю.В., Дрантусова Н.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Чунтул А.В., Короткевич М.З., Самусенко А.Г., Павленко Н.С., Горбатовский В.Ф., Привалов В.В., Продин В.И., Рябинин В.А., Беломестнов В.А., Лапа В.В., Давыдов В.В., Иванов А.И., Новиков М.В., Липов Б...
(Когито-Центр)
Болатчиев К.Х., Ермакова Л.А., Пшеничная Н.Ю., Хроменкова Е.П., Хапаев Б.А.
(Северо-Кавказская государственная гуманитарно-технологическая академия)
Вадюшина Д.С., Панкратова С.Н.
(Вышэйшая школа)
Ильинских Н.Н., Чойнзонов Е.Л., Лебедев И.Н., Язиков Е.Г., Мельников А.А., Васильев С.А., Ильинских Е.Н.
(Томский политехнический университет)
Еремина Е.А., Рыжова О.Н.
(Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова)