Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрено оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий, диагностическое и вспомогательное оборудование для реализации процессов взаимодействия ускоренного электронного пучка с поверхностью диэлектрических мишеней, физические принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования. Для аспирантов, а также студентов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники и ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Может быть полезно для специалистов и инженеров, чья работа связана с вопросами взаимодействия плазмы, электронных и ионных пучков с поверхностью, методами обработки материалов потоками заряженных частиц в различных областях науки и техники.
Библиографическая запись
Юшков, Ю. Г. Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме : учебное пособие / Ю. Г. Юшков, А. С. Климов. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2023. — 68 c. — ISBN 978-5-6050215-3-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/152822.html (дата обращения: 29.07.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
.jpg)
Рыбина О.С., Белов В.В., Левченко В.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Данилин А.В., Слюсаренко А.И.
(Интернет-Университет Информационных Технологий (ИНТУИТ), Ай Пи Ар Медиа)
Доронина И.Н., Киреева О.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Мартынов А.П., Мартынова И.А., Русаков А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Тинякова Е.А.
(Профобразование)
Чижова М.Е., Веретельникова Ю.Я., Юрова И.Ю., Храмова Ю.А., Чернышкова Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
