Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрено оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий, диагностическое и вспомогательное оборудование для реализации процессов взаимодействия ускоренного электронного пучка с поверхностью диэлектрических мишеней, физические принципы работы пучкового и плазменного технологического оборудования. Для аспирантов, а также студентов высших учебных заведений, специализирующихся в области физической электроники и ионно-плазменных и лучевых технологий, вакуумной и плазменной электроники, микро- и наноэлектроники, физики твердого тела, материаловедения. Может быть полезно для специалистов и инженеров, чья работа связана с вопросами взаимодействия плазмы, электронных и ионных пучков с поверхностью, методами обработки материалов потоками заряженных частиц в различных областях науки и техники.
Библиографическая запись
Юшков, Ю. Г. Оборудование для электронно-лучевых и плазменных технологий в форвакууме : учебное пособие / Ю. Г. Юшков, А. С. Климов. — Томск : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, 2023. — 68 c. — ISBN 978-5-6050215-3-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/152822.html (дата обращения: 29.07.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Доронина И.Н., Киреева О.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Мартынов А.П., Мартынова И.А., Русаков А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Тополь Э.
(Альпина Паблишер)
Макарова Е.А., Анисимов А.Ю., Трубин А.Е., Буланова Т.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Черепахин А.А., Агеев Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Тинякова Е.А.
(Профобразование)
Китаева Е.Ю., Пустозеров В.Г., Китаев А.Ю., Краснова Ю.Н., Белялов Ф.И.
(Ай Пи Ар Медиа)
Бойко В.В.
(Межрегиональная Академия безопасности и выживания (МАБИВ))
