Технологии формирования изолирующих областей интегральных микросхем с использованием тонких диэлектрических пленок. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием основных узлов диэлектрической изоляции в интегральных микросхемах (ИМС): диэлектрической изоляции в подложке кремния и предметаллического диэлектрика – диэлектрической изоляции между транзисторными структурами и первым уровнем металлической разводки ИМС. На примере этих узлов хронологически проанализированы проблемы и технологические решения по получению конформных диэлектрических пленок на основе диоксида кремния на усложняющихся рельефах интегральных микросхем. Пособие составлено на базе 40-летнего личного опыта работы автора на отечественных и зарубежных предприятиях микроэлектронной отрасли. Материал пособия может быть рекомендован для обучения будущих бакалавров и магистров по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 («Электроника и наноэлектроника»), 28.03.01 и 28.04.01 («Нанотехнологии и микросистемная техника») в рамках семинаров по специальностям и по дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники. Рекомендуется для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», а также для технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.
Библиографическая запись
Васильев В.Ю. Технологии формирования изолирующих областей интегральных микросхем с использованием тонких диэлектрических пленок : учебное пособие / Васильев В.Ю.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2025. — 107 c. — ISBN 978-5-7782-5365-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/158755.html (дата обращения: 11.06.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Плешивцев А.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Васькина Т.И., Семышев М.В., Поцепай С.Н.
(Профобразование)
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Аминов Р.З., Егоров А.Н., Юрин В.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Черепахин А.А., Андреева Л.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
Лептюхова О.Ю.
(Ай Пи Ар Медиа)
Борисова Л.Р., Седых И.Ю., Хрипунова М.Б.
(Прометей)
Кулаков В.В., Качалов В.И., Бондаренко О.С., Кашицин П.Н., Кравченко М.С., Кукарцев А.Д., Маклачков А.В., Малаханов А.В., Рыбалкин А.Н., Свиридов В.Е., Сифоров В.В., Шумаков П.В., Шумов М.Ю....
(Российский государственный университет правосудия)
Селиванова З.М.
(Тамбовский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
