Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники. Учебное пособие
Об издании
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Библиографическая запись
Потловский, К. Г. Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники : учебное пособие / К. Г. Потловский, Е. А. Скороходов, С. А. Козубняк. — Москва : Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана, 2013. — 68 c. — ISBN 978-5-7038-3729-0. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/30892.html (дата обращения: 04.02.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Ткач Е.В., Шестаков Н.И., Обухова С.Ю., Гладких В.А.
(МИСИ-МГСУ, ЭБС АСВ)
Цупиков С.Г., Казачек Н.С., Цупикова Л.С.
(Инфра-Инженерия)
Бондарев Б.А., Бондарев А.Б., Жидков В.К., Колобанов А.С.
(Типография «Липецк-Плюс»)
Гулина С.А., Гулина А.С.
(Самарский государственный технический университет, ЭБС АСВ)
Мамардашвили М.К., Пятигорский А.М.
(Прогресс-Традиция)
Решетняк Е.П.
(Саратовский государственный аграрный университет имени Н.И. Вавилова, Вузовское образование)
