Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Сканирующая зондовая микроскопия. Часть I. Учебное пособие
Об издании
Пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов сканирующей зондовой микроскопии. Рассмотрены вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Предназначено для студентов, обучающихся по направлению 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Экспериментальные методы исследования и метрология», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем», и студентов, обучающихся по направлению 210100 «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Библиографическая запись
Филимонова Н.И. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Сканирующая зондовая микроскопия. Часть I : учебное пособие / Филимонова Н.И., Кольцов Б.Б.. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2013. — 134 c. — ISBN 978-5-7782-2158-1. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45104.html (дата обращения: 04.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
(Ай Пи Ар Медиа)
Мякишева Ю.В., Громова Д.С., Щепеткова Р.А., Павлов И.С., Павлов А.Ф.
(Ай Пи Ар Медиа)
Малафеев О.А., Шкрабак В.С., Шкрабак Р.В., Орлов П.С., Богатырёв В.Ф.
(Проспект Науки)
Генералова С.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Химченко А.В., Мищенко Н.И., Козлов В.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Кашаев В.В., Жук В.Л.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Акопян В.З., Бондаренко В.Г., Бурыкина Л.В., Васильева О.А., Венков А.В., Гражданов Ю.Д., Грибовский В.В.
(Южный институт менеджмента)
Лавров В.М., Бакулин В.И., Гурьянова Н.П., Чагин Г.Н., Сергеев Т.С., Колотов А.В.
(Вятский государственный гуманитарный университет)