Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II. Учебное пособие
Об издании
Учебное пособие содержит подробное описание физических основ и экспериментальной техники методов электронной спектроскопии, микроскопии и методов исследования электрофизических параметров наноэлектронных материалов и структур. Рассматриваются вопросы применения этих методов в современной науке, технике и технологии. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Нанотехнологии и микросистемная техника» для дисциплин «Методы анализа и контроля наноструктурированных материалов и систем», «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов», «Методы диагностики и анализа микро- и наносистем» и студентов, обучающихся по направлению «Микроэлектроника и наноэлектроника» для дисциплины «Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных структур».
Библиографическая запись
Величко, А. А. Методы исследования микроэлектронных и наноэлектронных материалов и структур. Часть II : учебное пособие / А. А. Величко, Н. И. Филимонова. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2014. — 227 c. — ISBN 978-5-7782-2534-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/45105.html (дата обращения: 05.02.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Глебов В.В., Кангин М.В., Кангин Е.М., Щеглетов К.А., Кангин А.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Седова Н.А., Седов В.А.
(Ай Пи Ар Медиа)
Миронов А.В., Садриева А.Н., Филатова Л.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
Корниенко В.Т.
(Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Николаева Н.Н., Куликова М.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Мятеж Т.В.
(Новосибирский государственный технический университет)
Акинфиева В.В., Ананьева А.А., Афанасьева С.И., Благодир А.Л., Боннер А.Т., Борисевич Г.Я., Вавилин Е.В., Васильева Ю.В., Волос А.А., Воронин М.В., Голубцов В.Г., Гонгало Б.М., Губарева А.В., Дворянс...
(Статут)
Төреханов А.Ә., Алимаев И.И., Оразбаев С.Ә.
(Нур-Принт)
Захарова Н.А., Сергеева Т.Ю., Шитова М.А.
(Ай Пи Эр Медиа)
