Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения. Монография
Об издании
Монография посвящена решению актуальных проблем создания аппаратурно-технологических и аппаратурно-физических комплексов применительно к задачам электронного приборостроения, оптимизации аппаратурного обеспечения плазменных технологических процессов в современном вакуумном приборостроении. Возбуждение химически активных сред рассматривается с учетом энерго-и массообмена (неравновесная плазма). Предложены методы использования высокочастотных полей с особыми частотно-спектральными свойствами для создания однородных и пространственно развитых плазменных объемов. Большое внимание уделено созданию современных высокоэффективных генераторов низкотемпературной плазмы - плазмотронов: Е-типа и Н-типа, гибридных генераторов, а также многоканальных пространственно распределенных генераторов, позволяющих реализовать различные технологические операции. Особое внимание уделяется природоохранным аспектам использования техногенных устройств, какими являются высокочастотные и сверхвысокочастотные плазмотроны. Рассмотрены вопросы элементно-аппаратурного обеспечения электротехнологических процессов с использованием как полупроводниковых активных элементов, так и мощных вакуумных приборов высокочастотного диапазона. Книга может представлять интерес для широкого круга технологов и конструкторов, работающих в области электронного приборостроения.
Библиографическая запись
Геллер, В. М. Плазменные высокочастотные технологии для электронного приборостроения : монография / В. М. Геллер, В. А. Хрусталев. — Новосибирск : Новосибирский государственный технический университет, 2011. — 298 c. — ISBN 978-5-7782-1559-7. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/47711.html (дата обращения: 06.11.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Белова С.А., Давыдова Т.Е., Иванова Н.П., Лойко О.А., Тимофеева О.В., Фейзрахманова Н.М., Черноморец Т.В.
(Профобразование)
Жаныс А.Б.
(EDP Hub (Идипи Хаб), Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Чунтул А.В., Короткевич М.З., Самусенко А.Г., Павленко Н.С., Горбатовский В.Ф., Привалов В.В., Продин В.И., Рябинин В.А., Беломестнов В.А., Лапа В.В., Давыдов В.В., Иванов А.И., Новиков М.В., Липов Б...
(Когито-Центр)
Болатчиев К.Х., Ермакова Л.А., Пшеничная Н.Ю., Хроменкова Е.П., Хапаев Б.А.
(Северо-Кавказская государственная гуманитарно-технологическая академия)
Вадюшина Д.С., Панкратова С.Н.
(Вышэйшая школа)
Ильинских Н.Н., Чойнзонов Е.Л., Лебедев И.Н., Язиков Е.Г., Мельников А.А., Васильев С.А., Ильинских Е.Н.
(Томский политехнический университет)
Еремина Е.А., Рыжова О.Н.
(Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова)