Ионно-плазменная обработка материалов. Курс лекций
Об издании
В курсе лекций рассматриваются основные ионно-плазменные процессы в технологии микро- и наноэлектроники. Приводится классификация процессов травления и осаждения тонких пленок материалов электронной техники и гетероструктур на их основе. Рассматриваются особенности селективного и анизотропного травления наноразмерных слоистых материалов при различных способах вакуум-плазменных процессов. Обсуждаются проблемы получения химически чистой поверхности подложек, а также возможные случаи повреждения и изменения шероховатости приповерхностного слоя. Анализируются возможности ионного синтеза и кристаллизации пленок при различных условиях ионного воздействия на поверхность обрабатываемого материала. Приводятся примеры использования ионно-плазменных процессов для создания элементов микро- и наноэлектроники. Курс лекций подготовлен по рекомендации горно-металлургической секции РАЕН. Содержание соответствует государственному образовательному стандарту по направлению «Электроника и микроэлектроника». Предназначено для студентов (бакалавров и магистров), обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и микроэлектроника», 210600 «Нанотехнология».
Библиографическая запись
Кузнецов Г.Д. Ионно-плазменная обработка материалов : курс лекций / Кузнецов Г.Д., Кушхов А.Р.. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2008. — 180 c. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/56059.html (дата обращения: 25.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Воробьева О.М., Баранова Д.К., Левченко В.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Емельянова А.А., Огородникова О.А., Челнокова А.Ю., Шульгина Д.П., Ртищева Г.А., Щулепникова Е.И., Набокина М.Е.
(Ай Пи Ар Медиа)
Титов С.В.
(Профобразование)
Корниенко В.Т.
(Ай Пи Ар Медиа)
Шошин Е.Л., Лукьянов С.П.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Пушкарев В.В., Константинов А.В., Вехов В.Б., Борисов М.А., Стащенко С.П., Михайленко Н.В., Соломатина А.Г., Токолов А.В., Рудин А.В., Шубина К.С., Котова А.А., Бушманова К.А., Барченкова Я.В., Полик...
(Ай Пи Ар Медиа)
Пушкарев В.В., Константинов А.В., Вехов В.Б., Борисов М.А., Стащенко С.П., Михайленко Н.В., Соломатина А.Г., Токолов А.В., Рудин А.В., Шубина К.С., Котова А.А., Бушманова К.А., Барченкова Я.В., Полик...
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
