Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении. Соответствует программе курса «Элионная технология в микро- и наноиндустрии». Предназначено для магистров, специализирующихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнология и микросистемная техника», и может быть полезно обучающимся по направлению «Наноматериалы».
Библиографическая запись
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы : учебное пособие / Г.Д. Кузнецов [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2012. — 128 c. — ISBN 978-5-87623-556-5. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/56648.html (дата обращения: 21.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Хачатрян Г.А., Кузнецова И.В.
(Профобразование)
Исяньюлова Р.Р., Половникова М.В.
(Профобразование)
Веселова Н.Ю., Иванова Н.В., Мальшина Н.А.
(Профобразование)
Петропавловский И.А., Дмитревский Б.А., Левин Б.В., Почиталкина И.А.
(Проспект Науки)
Габриелян Д.С.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перхуткин В.П., Перхуткина З.И., Овчарук Т.А., Недух Е.Н., Панюкова М.Л.
(Инфра-Инженерия)