Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Учебное пособие
Об издании
В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы. По каждой теме приводится перечень контрольных вопросов для проверки усвоения материала и выдаются домашние задания с примером выполнения. Учебное пособие предназначено для магистров, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника», «Нанотехнология и микросистемная техника» и может быть полезно обучающимся по направлениям «Наноматериалы» и «Физика».
Библиографическая запись
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций : учебное пособие / Г.Д. Кузнецов [и др.].. — Москва : Издательский Дом МИСиС, 2012. — 122 c. — ISBN 978-5-87623-547-3. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/56649.html (дата обращения: 17.05.2024). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Волосова Е.В., Шипуля А.Н., Пашкова Е.В., Безгина Ю.А., Глазунова Н.Н.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
Мякишева Ю.В., Громова Д.С., Щепеткова Р.А., Павлов И.С., Павлов А.Ф.
(Ай Пи Ар Медиа)
Коростылев С.А., Устименко Е.А., Громова Н.В., Ситников В.Н., Есаулко А.Н., Голосной Е.В.
(Ставропольский государственный аграрный университет)
Генералова С.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Химченко А.В., Мищенко Н.И., Козлов В.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Перхуткин В.П., Перхуткина З.И., Овчарук Т.А., Недух Е.Н., Панюкова М.Л.
(Инфра-Инженерия)