Технологическое оборудование для микроэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
Библиографическая запись
Камлюк В.С. Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / Камлюк В.С., Камлюк Д.В.. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. — 392 c. — ISBN 978-985-503-369-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/67752.html (дата обращения: 13.04.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
.jpg)
Рыбина О.С., Белов В.В., Левченко В.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Черепахин А.А., Агеев Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Казиев Ш.М., Богатырёва И.А.-А., Эбзеева Ф.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Эйснер О.О.
(Профобразование)
Зеленко Н.В., Зеленко Г.Н.
(ООО «Редакция газеты «Армавирский собеседник»)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Тинякова Е.А.
(Профобразование)
Ещеркина Л.В., Скачкова Е.А., Казаченок Ю.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Лашина Е.Н., Мартынова А.О.
(Санкт-Петербургский государственный университет промышленных технологий и дизайна)
Болсуновская Л.М., Абрамова Р.Н., Матвеенко И.А., Терре Д.А., Долгая Т.Ф., Коротченко Т.В., Ульянова О.С., Зеремская Ю.А., Шендерова И.В., Вершкова В.М., Найдина Д.С., Сухорукова Н.В....
(Ай Пи Ар Медиа)
