Технологическое оборудование для микроэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
Библиографическая запись
Камлюк В.С. Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / Камлюк В.С., Камлюк Д.В.. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. — 392 c. — ISBN 978-985-503-369-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/67752.html (дата обращения: 18.12.2025). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
(Ай Пи Ар Медиа)
Никитенко М.С., Трухманов Д.С., Сивушкин А.С.
(Кузбасский государственный технический университет имени Т.Ф. Горбачева)
Козыряцкий Л.Н., Моргунов В.М., Федоров О.В.
(Инфра-Инженерия)
Хопин П.Н., Силуянова М.В.
(Инфра-Инженерия)
Алексеев Г.В., Карпичев Е.В., Тестина Я.С., Алексеева А.В.
(Инфра-Инженерия)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
.jpg)
Симак Р.С., Васильев Д.И., Левкин Г.Г.
(Ай Пи Ар Медиа)
Гуськов А.В., Милевский К.Е., Сотенко А.В.
(Новосибирский государственный технический университет)
Мамардашвили М.К., Пятигорский А.М.
(Прогресс-Традиция)
Решетняк Е.П.
(Саратовский государственный аграрный университет имени Н.И. Вавилова, Вузовское образование)
