Технологическое оборудование для микроэлектроники. Учебное пособие
Об издании
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонта технологического оборудования. Для учащихся учреждений профессионально-технического и среднего специального образования.
Библиографическая запись
Камлюк В.С. Технологическое оборудование для микроэлектроники : учебное пособие / Камлюк В.С., Камлюк Д.В.. — Минск : Республиканский институт профессионального образования (РИПО), 2014. — 392 c. — ISBN 978-985-503-369-2. — Текст : электронный // Цифровой образовательный ресурс IPR SMART : [сайт]. — URL: https://www.iprbookshop.ru/67752.html (дата обращения: 13.06.2026). — Режим доступа: для авторизир. пользователей
РЕКОМЕНДУЕМ К ПРОЧТЕНИЮ
.jpg)
Рыбина О.С., Белов В.В., Левченко В.В.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Черепахин А.А., Агеев Е.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Казиев Ш.М., Богатырёва И.А.-А., Эбзеева Ф.М.
(Ай Пи Ар Медиа)
Удовкин А.И., Глобин А.Н.
(Ай Пи Ар Медиа)
Пешков М.В.
(Ай Пи Ар Медиа)
Катков Д.С., Попов И.Н., Культяев С.Г.
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
C ЭТОЙ КНИГОЙ ТАКЖЕ ЧИТАЮТ
Елкин С.Е.
(Профобразование)
Колмогорова С.М., Самуйлов С.В., Самуйлова С.В.
(Профобразование)
(Профобразование, Ай Пи Ар Медиа)
Сухочев Г.А., Коденцев С.Н., Смольянникова Е.Г.
(Профобразование)
Руденко А.А., Мотылев Р.В., Бахтинова Ч.О., Бахтинов С.А., Ильин С.Н., Розанцева Н.В., Челнокова В.М.
(Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, ЭБС АСВ)
Могилевская Н.С.
(Издательство Южного федерального университета)
